沒有MEMS，你可能就用不上如今的智能手機(jī)和其他電子設(shè)備！
說起MEMS，可能大家都沒有太多概念，對(duì)MEMS的重要性也沒有清楚地認(rèn)識(shí)。
我們旋轉(zhuǎn)手機(jī)，視頻就會(huì)跟著轉(zhuǎn)成橫屏/豎屏，這是MEMS加速度傳感器在工作；我們轉(zhuǎn)動(dòng)、移動(dòng)手機(jī)，游戲里的人物就會(huì)跟著運(yùn)動(dòng)，這是MEMS陀螺儀+加速度傳感器在工作；我們說Hey Siri……手機(jī)就會(huì)說我在，這是MEMS麥克風(fēng)在工作。
今天我們所使用的一切智能電子產(chǎn)品，基本都有MEMS的身影。在消費(fèi)電子領(lǐng)域，5G換機(jī)潮使單部手機(jī)MEMS傳感器數(shù)量不斷增加；智能家居和可穿戴設(shè)備的興起也有效擴(kuò)大MEMS傳感器的市場(chǎng)空間；汽車電子是MEMS產(chǎn)品的第二大市場(chǎng)，汽車自動(dòng)化程度提高和政府推出的汽車安全規(guī)定也給MEMS傳感器的應(yīng)用帶來機(jī)遇；智能制造和醫(yī)療領(lǐng)域同樣存在較大市場(chǎng)機(jī)會(huì)，其中醫(yī)用MEMS傳感器已成為智慧醫(yī)療的核心。
MEMS技術(shù)使傳感器微型化成為可能，在物聯(lián)網(wǎng)、可穿戴設(shè)備、醫(yī)療檢測(cè)、人工智能等等方面，微型化的傳感器都必不可少，難以想象沒有MEMS傳感器的世界。
用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化、可大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)，同時(shí)，MEMS傳感器不僅能夠感知被測(cè)參數(shù)，將其轉(zhuǎn)換成方便度量的信號(hào);而且能對(duì)所得到的信號(hào)進(jìn)行分析、處理和識(shí)別、判斷，因此MEMS也被稱為智能傳感器。
百度一下，MEMS全稱Micro Electromechanical System，微機(jī)電系統(tǒng)，有多微？
螨蟲你知道么？與MEMS齒輪工藝做出的機(jī)械齒輪結(jié)構(gòu)對(duì)比相比，螨蟲就如同奧特曼的怪獸一般巨大，就是這么微。
是不是很不可思議？傳統(tǒng)的機(jī)械麥克風(fēng)一般有手指頭大，而用MEMS工藝最終做出的麥克風(fēng)比手指蓋還小。
傳統(tǒng)ECM麥克風(fēng)是根據(jù)聲波產(chǎn)生的空氣流動(dòng)對(duì)薄片的沖擊，使其產(chǎn)生形變，從而改變電容，使輸出電信號(hào)的改變，從而反映出入口處的聲波頻率和幅度的變化。而MEMS麥克風(fēng)是由MEMS微電容傳感器、微集成轉(zhuǎn)換電路、聲腔、RF抗干擾電路這幾個(gè)部分組成的。
MEMS微電容極頭包括接收聲音的硅振膜和硅背極，硅振膜可以直接接收到音頻信號(hào)，經(jīng)過MEMS微電容傳感器傳輸給微集成電路，微集成電路把高阻的音頻電信號(hào)轉(zhuǎn)換并放大成低阻的電信號(hào)，同時(shí)經(jīng)RF抗噪電路濾波，輸出與前置電路匹配的電信號(hào)，就完成了聲電轉(zhuǎn)換。通過對(duì)電信號(hào)的讀取，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)聲音的識(shí)別。
▲MEMS麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)圖
經(jīng)過多年發(fā)展，我國(guó)雖已形成了設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造、封裝測(cè)試、系統(tǒng)集成的完整產(chǎn)業(yè)鏈條，但產(chǎn)業(yè)整體仍然相對(duì)落后。然而全球MEMS產(chǎn)業(yè)尚未進(jìn)入成熟期，仍處于第三次發(fā)展浪潮中，能否隨著這股浪潮將我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)發(fā)展起來，就看我們能否抓住這個(gè)機(jī)會(huì)了。
